Este documento se extiende desde la importancia y la urgencia de promover el desarrollo de la industria de CI hasta la tecnología clave para controlar el control de contaminación ambiental de la superficie de las obleas de yeid de CI (SECC) .Recientemente, IRDS 2020 presentó claramente la exposición clave sobre la mejora del rendimiento, señalando que La contaminación molecular en el aire (AMC) es un factor importante que causa defectos aleatorios en las obleas, y este efecto se agravará con la disminución del ancho de línea de las obleas.En este documento, los requisitos tecnológicos para el control de la contaminación ambiental de la superficie de 2021 a 2027 se enumeran según la concentración de control permisible de diferentes contaminantes del aire en cada proceso de proceso de producción, se expresa en ppTV. Debido a la estricta norma de control, se requiere que el diseño del sistema de ventilación de control de contaminación química en salas blancas y ambientes controlados asociados, selección de aire Filtro químico, requisitos de ajuste y rendimiento.Debe llevarse a cabo estrictamente Además, se introducen los indicadores de rendimiento del filtro químico del aire, el banco de pruebas del filtro y el procedimiento de prueba en la norma ASHRAE 145.2-2016 y otros contenidos.

¿O podríamos cumplir los sueños de limpieza por limpiaparabrisas para salas blancas ? Creo que la respuesta es SÍ.